数字控制器E5CN-Y2H03T-FLK手册欧姆龙E5CN-Y2H03T-FLK指导手册

晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式E5CN-Y2H03T-FLK手册。
使用环保导线（无滑石粉）。
检测方式：反射型。
检测距离：红外光0~3mm。
动作模式：有晶圆片托架时ON。
导线长：2m。本体：端子台型，温度输入型。
种类：控制输出1点型（电源AC100～240V用）。
外壳颜色：黑色。
控制输出：继电器输出。
控制模式：标准或加热冷却。
辅助输出点数：2点。
加热器用断线、SSR故障、加热器过电流检测功能/ES1B用电源：单相加热器用检测功能/ES1B用电源E5CN-Y2H03T-FLK手册。
事件输入点数：--。
传送输出：--。
通信：--。
48mm的通用温控器已升级＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了预防维护功能，
性能进一步提升。
E5CN-U（插入型）新增模拟输入型和电流输出型。
增加PV/SV状态显示功能，方便查看温控器的状态（自动/手动、RUN/STOP、报警发生），
可交互显示PV/SVE5CN-Y2H03T-FLK手册。
增加控制输出ON/OFF次数计数功能，可预防维护温控器内部继电器。E3FA塑料外壳。
传感器类型：具有P-opaquing功能的透明瓶检测型。
检测距离：100-500mm使用E39-RP1欧姆龙E5CN-Y2H03T-FLK指导手册。
连接方式：M12接插件。
输出方式：NPN。元件种类：K（CA）。
保护管直径：螺距W1/4。
导线长度：1m。
品种丰富的温度传感器系列。
在以往的M3螺钉对应品的基础上，
追加有助于降低配线工时的棒状端子对应品。
温度传感器是用作温控器的热感应部件。
可根据要测量的温度、场所、 周围环境选择欧姆龙E5CN-Y2H03T-FLK指导手册。
备有种类、形状、 长度及端子部形状各异的产品。尺寸：48×96mm。
本体：端子台型，模拟输入型。
种类：控制输出1点型（电源AC100～240V用）。
外壳颜色：黑色欧姆龙E5CN-Y2H03T-FLK指导手册。
控制输出：继电器输出。
控制模式：标准或加热冷却。
辅助输出点数：3点。
加热器用断线、SSR故障、加热器过电流检测功能/ES1B用电源：单相加热器用检测功能。
事件输入点数：--。
传送输出：--。
通信：--。
96mm、48×96mm见方的通用温控器已升级＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了预防维护功能，性能进一步提升。
增加PV/SV状态显示功能，方便查看温控器的状态态
（自动/手动、RUN/STOP、报警发生），可交互显示PV/SSVE5CN-Y2H03T-FLK手册E5CN-Y2H03T-FLK。
增加控制输出ON/OFF次数计数功能，可预防维护温控器内部继电器。
增加了3段显示，可同时显示易于理解的当前值/目标值/操作量。
增加了PF键，分配自动/手动、RUN/STOP等，可实现一键操作。